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對
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工
作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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精密無氧化烘箱剖析
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2018-05-12
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精密無氧烘箱的名稱
無氧烘箱也稱為無氧化烘烤（烤）箱、防氧化烘箱、厭氧烘（烤）箱，無塵無氧烘（烤）箱，高溫固化烘箱等。主要是提供一種高溫且氧含量很低的烘烤空間，防止產品在高溫烘烤、固化等工藝時產生氧化。
精密無氧烘箱的原理：
無氧：采用惰性氣體（常用氮氣）置換腔內氣體，達到氧濃度極低的環境；具有氧含量分析儀，全程檢測氧含量值，實時顯示
并 記錄。
高溫：電加熱器提供高溫的環境；
降溫：水冷、風冷可單獨采用一種或兩種降溫方式輔助降溫，使得降溫速率加快，提高生產效率，節約時間；
操作：無氧烘箱采用人機交互+PLC的控制方式，智能、快速、一鍵操作方式。
精密無氧烘箱的技術性能：
內部大小：常用 W500mm×500mm×H500mm ，多尺寸可選擇、可定制
材料： 外部箱冷軋板噴塑，內箱國際SUS304不銹鋼
溫度指標： 100-400/500℃
溫度精度： 0.1℃
波動度：≤±1℃
均勻度： ≤1.5%℃
潔凈能力：可選class100，百級潔凈度
低氧指標： 氧含量≤ 20ppm
數據記錄： 氧含量記錄，多點溫度記錄
智能操作： 人機界面+PLC，可程式/定制運行，大屏顯示、一鍵操作
產品支架： 2層
