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作
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態
度
，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
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晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2015-11-18
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晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱：
晶圓退火需進行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應的升溫速率不同,其中,所述多個區域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區域進行保溫處理;對多個區域采用氮氣保護，該氮氣烘箱采用輔助降溫方式進行降溫處理。
晶圓退火烤箱，500度退火氮氣烘箱技術性能：
1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制
2 材質 內箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優質冷軋板噴塑
3 溫度范圍 RT+50-550℃
4 控溫精度 +1
5 溫度波動度 ≤±1℃
6 溫度均勻度 ≤1.5%
7 潔凈度 class100/class1000/無要求
8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ
9 升溫速度 1-10℃/min可調
10降溫方式 風冷降溫/水冷
11氧含量 氧含量≤50ppm
12 數據輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀
13操作方式 彩色觸摸屏控制，可程式/定制運行
14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤
