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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
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無氧化烘箱,無氧烤箱
    發布時間: 2021-09-26 13:42    

無氧化烘箱適用于半導體、光電元件、封裝測試,所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜,銀漿固化、模后固化、電鍍退火,基板除潮、晶圓干燥退火等。

無氧化烘箱,無氧烤箱簡介:


   無氧化烘箱適用于半導體、光電元件、能原材料、通訊產品、機電產品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。封裝測試,所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜,銀漿固化、模后固化、電鍍退火,基板除潮、晶圓干燥退火等。

無氧化烘箱,無氧烤箱特點:

含氧控制:為更好防止產品受潮氧化,配有氧氣濃度傳感探頭,當氧氣濃度高于所設定數值時連接制供氣設備的電磁閥門自動打開,向箱內自動充氮; 氧氣濃度低于所設定數值時,連接供氣設備的電磁閥門自動關閉并將實時數據傳輸到外顯示器上;
氮氣裝置:氮氣專用轉子流量計,進氣端配有氮氣減壓閥,氣源壓力及實際充氣壓力雙表指針顯示;
含氧量:< 50ppm,30ppm, 20ppm

無氧化烘箱,無氧烤箱技術參數:

溫度范圍:RT-200℃定點可調

控溫精度:±1℃

升溫速率:RT-100℃ 約20min
工作室尺寸:
W600*D500*H750(可自定義)

外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵

內膽材料:優質潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國標鏡面不銹鋼材質,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤產生 PARTICLE;

活動層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤,可根據實際需要增加

循環系統:強制水平送風循環,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后熱風吸入風道成為源再度循環加熱,由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性,當門開、關動作 引起擾動時,可借此送風循環系統迅速回復操作狀態溫度值

進氣系統:數量1個,φ50mm

排氣系統:數量1個,φ50mm

溫控裝置:智能LED雙數顯高精度溫度控制系統(多段程序控制可選),并具有PID自整定,自動恒溫等功能

超溫保護:內置超溫保護儀,超過溫度設置上限自動報警并切斷加熱。

測溫裝置:采用標準型PT100溫度傳感器,精確測溫,穩定可靠  

定時裝置:內置自動定時器,0-99.99小時設定,可預設烘烤時間 

報警裝置:恒溫時間結束后自動聲光報警提示

安全裝置:漏電,短路,過載保護;

固態輸出:SSR無觸點繼電器模塊,靈敏度高 

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